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以激光干涉技術為核心，SJ6000激光干涉儀機床精度測試的分辨率可達納米級。有測量機床回轉軸精度、直線度、線性、運動導軌的俯仰角、扭擺角、定位精度、垂直度等檢測功能，且可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，滿足機床誤差修正的要求。

中圖儀器的國產(chǎn)sj6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)平行度、線性測長、直線度、垂直度、角度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下，還可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。

SJ6000激光干涉儀量程精度高，可以棄普通車間進行應用，環(huán)境適應能力強，同時可進行動態(tài)高速測量，配以相應元件后還可以測量線速度、角度、平面度、振動幅度及速度等。

SJ6000機床設備激光干涉儀品牌以光波為載體，其光波波長直接對米進行定義，廣泛應用于機床、精密機械設備、3D打印設備、自動化設備、三坐標、機器人、線性位移平臺、精密檢測儀器等領域的線性測量，是高精度、高靈敏度測量儀器。

精密激光干涉儀具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

國產(chǎn)激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體，產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；