目前在檢測機(jī)床精度方面，中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的主流儀器是SJ6000激光干涉儀+WR50自動精密轉(zhuǎn)臺+MT21無線球桿儀。

SJ6000機(jī)床設(shè)備激光干涉儀品牌以干涉技術(shù)為核心，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可以輸出高精度、長期穩(wěn)定性好、抗干擾能力強(qiáng)的激光頻率；為保證干涉光路穩(wěn)定可靠，干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計，避免了干涉鏡受熱影響；且其高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可以實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償。

SJ6000激光干涉儀

搭配不同的鏡組可以實(shí)現(xiàn)機(jī)床定位精度、垂直度、重復(fù)定位精度、偏擺角度、直線度、平行度等幾何精度測量。

SJ6000激光干涉儀測量機(jī)床定位精度

SJ6000激光干涉儀測量機(jī)床垂直度

SJ6000激光干涉儀測量機(jī)床偏擺角度

SJ6000機(jī)床設(shè)備激光干涉儀品牌搭配WR50自動精密轉(zhuǎn)臺還可以實(shí)現(xiàn)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸自動測量。

回轉(zhuǎn)軸測量原理

回轉(zhuǎn)軸測量要將WR50連接到回轉(zhuǎn)軸上，作為測角標(biāo)準(zhǔn)器。配置主要由SJ6000主機(jī)、角度鏡組、WR50自動精密轉(zhuǎn)臺、SJ6000靜態(tài)測量軟件等構(gòu)成?？蓪?shí)現(xiàn)0~360°的角度測量范圍，±1''的測量精度，最高轉(zhuǎn)速為10rpm。

WR50自動精密轉(zhuǎn)臺

WR50自動精密轉(zhuǎn)臺測量機(jī)床回轉(zhuǎn)軸精度

MT21無線球桿儀是評價機(jī)床動態(tài)輪廓精度的精密儀器。

工作原理

將球桿儀的兩端分別安裝在機(jī)床的主軸與工作臺上，測量兩軸插補(bǔ)運(yùn)動形成的圓形軌跡，并將這一軌跡與標(biāo)準(zhǔn)圓形軌跡進(jìn)行比較，從而評價機(jī)床產(chǎn)生誤差的種類和幅值。

MT21無線球桿儀

MT21無線球桿儀評定機(jī)床

激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測量機(jī)位置精度的理想工具，可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線，為數(shù)控機(jī)床的誤差，修正提供可靠依據(jù)，現(xiàn)場使用尤其方便。配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差，是一種高精度位移傳感器，可直接用于高精度、大尺寸的動態(tài)位移測量系統(tǒng)。