產(chǎn)品分類
CEM3000系列桌面式多功能實(shí)時(shí)能譜掃描電鏡高易用性快速成像、一鍵成片,無(wú)需過(guò)多人工調(diào)節(jié)。超高分辨率優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE)@20kV,超大景深毫米級(jí)別景深,具有高空間分辨率。
NS系列薄膜臺(tái)階測(cè)厚儀應(yīng)用場(chǎng)景適應(yīng)性強(qiáng),其對(duì)被測(cè)樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無(wú)特殊要求,可測(cè)量沉積薄膜的臺(tái)階高度、抗蝕劑(軟膜材料)的臺(tái)階高度等。
CEM3000系列中圖儀器高分辨率掃描電鏡操作系統(tǒng)簡(jiǎn)便,使用過(guò)程簡(jiǎn)單快捷。樣品一鍵裝入,自動(dòng)導(dǎo)航和一鍵出圖能力(自動(dòng)聚焦+自動(dòng)消像散+自動(dòng)亮度對(duì)比度)幫助用戶在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像,大大提升了使用效率。
CEM3000簡(jiǎn)單易操作超高分辨率掃描電鏡外型緊湊,空間適用性強(qiáng),整機(jī)采用大量的抗干擾設(shè)計(jì),避免使用環(huán)境造成的影響,拓寬了應(yīng)用范圍。同時(shí),該系列臺(tái)式電鏡具有非常豐富的自動(dòng)調(diào)節(jié)功能,能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M(jìn)行觀測(cè),具有高空間分辨率。
VT6000系列3D共聚焦顯微系統(tǒng)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測(cè)中,其次是對(duì)表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測(cè)中。
SuperViewW白光干涉非接觸式粗糙度儀以白光干涉技術(shù)為原理,用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量??蓽y(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
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