雙頻激光干涉儀是一種常用的實(shí)驗(yàn)室儀器，可以用于測(cè)量長(zhǎng)度、形狀、表面粗糙度等物理量。它基于干涉原理，利用激光源發(fā)出兩個(gè)頻率不同的激光束，通過干涉產(chǎn)生干涉條紋來進(jìn)行測(cè)量。在激光干涉儀中，激光源會(huì)發(fā)出兩個(gè)頻率不同的激光束，其中一個(gè)激光束為參考光，另一個(gè)激光束則被用來測(cè)量待測(cè)物體的位移或形變。這兩束激光束會(huì)經(jīng)過分束器和反射鏡，最終在檢測(cè)器上產(chǎn)生干涉信號(hào)。

　　雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，激光干涉儀也是一種以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器?？梢栽诤銣?，恒濕，防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等。它既可以對(duì)幾十米的大量程進(jìn)行精密測(cè)量，也可以對(duì)手表零件等微小運(yùn)動(dòng)進(jìn)行精密測(cè)量，既可以對(duì)幾何量如長(zhǎng)度、角度.直線度、平行度、平面度、垂直度等進(jìn)行測(cè)量，也可以用于特殊場(chǎng)合，諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器上記錄槽間距的測(cè)量等等。

　　以下是雙頻激光干涉儀的主要結(jié)構(gòu)組成部分：

　　1、激光器：使用兩個(gè)激光器作為光源，分別發(fā)射具有不同頻率的激光束。這些激光器通常是穩(wěn)定的單縱模激光器，能夠提供相干性良好的激光光源。

　　2、光路系統(tǒng)：光路系統(tǒng)用于引導(dǎo)和控制激光束的傳輸和干涉。它通常包括光束分束器、反射鏡、透鏡、干涉儀等光學(xué)元件。光路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和調(diào)整對(duì)于保證干涉儀的穩(wěn)定性和精度至關(guān)重要。

　　3、干涉儀：干涉儀是核心部分，用于實(shí)現(xiàn)激光的干涉效應(yīng)。常見的干涉儀結(jié)構(gòu)包括馬赫-曾德爾干涉儀（Michelson Interferometer）、擴(kuò)展馬赫-曾德爾干涉儀（Michelson-Morley Interferometer）等。干涉儀通過將兩束激光束進(jìn)行干涉，產(chǎn)生干涉條紋，從而實(shí)現(xiàn)測(cè)量。

　　4、探測(cè)器：探測(cè)器用于檢測(cè)干涉儀中的干涉信號(hào)，并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。常用的探測(cè)器包括光電二極管、光電倍增管、光電探測(cè)器等。探測(cè)器的選擇和性能對(duì)于測(cè)量的靈敏度和精度具有重要影響。

　　5、信號(hào)處理系統(tǒng)：信號(hào)處理系統(tǒng)用于接收、放大和處理探測(cè)器輸出的電信號(hào)。它通常包括放大器、濾波器、模數(shù)轉(zhuǎn)換器等。信號(hào)處理系統(tǒng)能夠提取干涉信號(hào)中的有用信息，并進(jìn)行數(shù)字化處理和分析。

　　6、控制系統(tǒng)：控制系統(tǒng)用于控制激光器、光路系統(tǒng)和信號(hào)處理系統(tǒng)的工作。它可以通過調(diào)節(jié)激光器頻率、干涉儀光程差等參數(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)測(cè)量過程的控制和調(diào)整。