激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，激光干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器?？梢栽诤銣?，恒濕，防震的計量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等。它既可以對幾十米的大量程進行精密測量，也可以對手表零件等微小運動進行精密測量，既可以對幾何量如長度、角度.直線度、平行度、平面度、垂直度等進行測量，也可以用于特殊場合，諸如半導體光刻技術(shù)的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。

　　激光干涉儀的原理是建立在塞曼效應、牽引效應和多普勒效應的基礎(chǔ)之上的。在全內(nèi)腔He-Ne激光器上加約0.03T的軸向磁場，由于塞曼效應和牽引效應，發(fā)出一束含有兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光，它們的頻率差大約是1.5MHz左右。這束光經(jīng)1/4波片之后成為兩個互相垂直的線偏振光，再經(jīng)平行光管準直和擴束。從平行光管出來的這束光經(jīng)過析光鏡反射出一小部分作為參考光束通過45°放置的檢偏器。并由馬呂斯定律可知，兩個垂直方向的線偏振光在45°方向上投影，形成新的線偏振光并產(chǎn)生拍頻。這個拍頻頻率恰好等于激光器所發(fā)出的兩個光頻的差值即（f1-f2），約為1.5MHz。經(jīng)光電元件接受進入前置放大器和計算機。

　　激光干涉儀的*性：

　　1、精度高

　　激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。即使不做細分也可達到μm量級，細分后更可達到nm量級。

　　2、應用范圍廣

　　激光干涉儀除了可用于長度的精密測量外，配上適當?shù)母郊€可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等等。

　　3、環(huán)境適應力強

　　即使光強衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號。由于這一特點，激光干涉儀既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內(nèi)檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準器和坐標測量機，也可以在普通的車間內(nèi)為大型的機床的刻度進行標定。

　　4、實時動態(tài)測速高

　　現(xiàn)代的激光干涉儀測速普遍達到1m/s，有的甚至于十幾m/s，適于高速動態(tài)測量。

　　激光干涉儀的發(fā)明使激光干涉儀最終擺脫了計量室的束縛，更為廣泛的應用于工業(yè)生產(chǎn)和科學研究中。

　　因此，對于激光干涉儀的研究有利于提高對該儀器的了解，以致于改進其性能，使其在計量方面有著更加廣泛的應用，具有重大意義。